真空斷路器的真空滅弧室具有較高的真空度要求，檢修現場較難達到，因此一般不要求作解體檢修。除真空滅弧室外主要是操作機構和傳動機構的檢修。常用的10KV真空斷路器中其操作機構以常見的電磁操作機構為多，從檢修管理來說，主要是掌握斷路器的檢修周期，跳閘次數，耐壓強度，觸頭的電磨損和其他技術數據，以保證斷路器的安全運行。
       一、滅弧室真空度的鑒定和調換
       真空滅弧室真空度直接關系到斷路器的絕緣和滅弧性能。平時要正確定量判斷滅弧室的真空度是困難的，通常采用的方法是通過規定的工頻耐壓值來定性的判斷真空度合格與否。當發生疑問而不能判斷時，可適當減小觸頭開距，通過相與相之間的耐壓值來比較進行判斷。
       當真空滅弧室處于下述任一情況時，均應予以更換。
       1、真空度明顯下降或不能耐受規定的工頻試驗電壓。
       2、滅弧室的機械壽命已達到額定植。
       3、動、靜觸頭的磨損量已達到規定值。
      4、滅弧室受到損傷已不能正常工作。
       當更換工作結束后，應對設備的有關裝配尺寸、斷路器的行程、超程、開距進行測量，不合格的應予以調整，而后進行工頻耐壓試驗。
        二、滅弧室數據測量
       真空滅弧室檢修中需經常測量的數據主要有開距、超行程、總行程以及三相觸頭同期性和動靜觸頭的磨損量等。
       由于真空斷路器的觸頭結構不同于其他介質斷路器的觸頭結構，所以真空斷路器的開距、超行程、總行程以及三者之間的關系也有不現的概念。測量時應注意所選擇的測量點的位置，如果選測點在觸頭彈簧運動方向的滅弧室側，則該測量點在斷路器分、合閘過程中的位移，反映了斷路器動觸頭的行程，即真空斷路器的開距。如果測量點選在操作機構側，則該測量點在斷路器分、合閘過程中的位移，反映了操作機構的輸出行程，即真空斷路器的總行器。而觸頭彈簧本身在分、合閘過程中，被壓縮的行程，反映了斷路器總行程和開距的差值，也即真空斷路器的超行程。
       三、檢查與校驗
       除滅弧室外真空斷路器的檢查主要可分為二個方面，即機械結構部分的檢查和電氣部分的檢查。
       機械結構的檢查主要有滅弧室的固定情況，分閘彈簧和觸頭彈簧的變形情況，操作機構的配合尺寸和機械運動部分的靈活性等。電氣部分的檢查主要是分合閘線圈直流電阻的測量和對地絕緣電阻的測量，分合閘電磁鐵的靈活性和動作電壓的校驗，輔助開關的接觸狀況檢查以及合閘接觸器的檢修，絕緣提升桿的絕緣電阻等電回路連接的緊固情況等。這些工作的方法與油斷路器的檢修是相似的。
        配有電磁操作機構的真空斷路器分閘動作電壓的校驗是非常重要的。因為真空斷路器常使用于頻繁操作場所，使其操作機構因振動、磨損等因素容易發生故障。處理缺陷時，特別是在發生好合不上、斷不開的情況下，在按標準調整配合尺寸的同時，應輔以分閘動作電壓的校驗，以取得良好的效果。